真空鍍膜機常見(jiàn)的幾種故障處理方法

點(diǎn)擊次數：1823 更新時(shí)間：2023-04-06

真空鍍膜機主要指一類(lèi)需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類(lèi)，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子槍加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

常見(jiàn)的幾種故障處理方法：

一、檢測不到掩膜夾具翻轉信號：

1、檢查翻面信號源位置

2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時(shí)，證明問(wèn)題在翻面控制開(kāi)關(guān)上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線(xiàn)路，然后更換控制卡。

二、掩膜夾具翻轉不穩定:

1、檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機

2、檢測翻面控制開(kāi)關(guān)工作是否穩定，可用指針萬(wàn)用表跟蹤監測。

3、檢查翻轉機構動(dòng)作是否靈活可靠

4、檢查翻面信號次數設置

5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有磨擦現象

6、檢測旋轉工作臺在轉動(dòng)時(shí)的穩定性

三、在同一掩膜夾具頻率散差大:

1. 檢查晶片本身是否散差大

2. 檢查膜層修正板位置是否變動(dòng),重新調節修正板

3．檢查一下?lián)醢逶陂_(kāi)、關(guān)時(shí)是否全遮擋住鉬舟

4．檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

5．檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟